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一种基于空间聚类的wafer bin合并方法技术
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文档序号:26172927
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本发明公开了一种基于空间聚类的wafer bin合并方法,涉及半导体制造业技术领域。通过空间聚类的方式,将构成同一失效模式的不同bin自动的进行合并,与此同时,具有混合失效模式的wafer bin map也能被分解为多个单一的失效模式,本发...
该专利属于上海喆塔信息科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海喆塔信息科技有限公司授权不得商用。
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