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本发明涉及一种建模过程中的特征芯片选择方法以及器件模型建立方法，所述特征芯片的选择方法包括：提供一建模测量用测试晶圆，所述测试晶圆上形成有多个芯片，每个芯片内形成有若干具有不同特征尺寸的至少一种器件；选择所述测试晶圆上若干芯片作为测试芯片，...
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