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本发明实施例涉及将护膜置于光掩模上的设备与将护膜置于光掩模上的方法。本发明实施例提供一种将护膜置于光掩模上的设备，其包含：盖，其具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，其中所述第二侧经设置以面对所述光掩模；及气垫，其放置于所述第一侧与所述第二...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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