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本发明提供一种退火机台、漏率检测装置及检测方法，所述漏率检测装置包括压力检测模块、流量调节模块和计算模块，所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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