退火机台、漏率检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种退火机台、漏率检测装置及检测方法，所述漏率检测装置包括压力检测模块、流量调节模块和计算模块，所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；在停止所述气体排出后，通过压力检测模块得到所述工艺腔室在第二预设时间时的第一压力值以及在第三预设时间时的第二压力值；所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。由此，可以有效的得到所述工艺腔室的漏率，从而提高工艺腔室的漏率检测精度。

Annealing machine, leakage detection device and detection method

【技术实现步骤摘要】
退火机台、漏率检测装置及检测方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种漏率检测装置、检测方法及退火机台。
技术介绍
目前，退火机台通常需要检测其工艺腔室的漏率，以衡量工艺腔室的密封性。现有的技术通常采用氧气检测装置检测工艺腔室的漏率，其氧气检测装置一般设置在工艺腔室的排气管路上，通常情况下，采用氧气检测装置检测工艺腔室漏率的方法包括，工艺腔室内通入氮气，并在工艺腔室内的氧气浓度为零或者接近零时，通过排气管路将工艺腔室内的气体排出到氧气检测装置的探针，通过探针检测工艺腔室内的氧气浓度，并根据氧气浓度得到工艺腔室的漏率。但通过上述装置和方法检测腔室的漏率时，工艺腔室内通常包括多个零部件，其零部件具有多个死角，在死角中会存在氧气残留，而残留的氧气会影响探针对工艺腔室内的氧气浓度的测量，从而导致测量结果不准。并且，氧气检测装置通常采用电化学方式计算氧气的浓度，即通过电极吸附氧离子引起电位差变化计算氧气浓度。其在检测完成后需要通过氮气清洗电极以清洗电极中的氧离子，因此会造成电极的氧化和清洗不不彻底的问题，从而影响其电化学性能以及检测氧离子能力。此外，通过测量工艺腔室氧气浓度的方法计算其漏率时，当机台周围环境中的氧气浓度出现波动时，会影响其测量结果，从而造成漏率计算不准的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种退火机台、漏率检测装置及检测方法，能够有效的得到工艺腔室的漏率，提高检测精度。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种漏率检测装置，用于检测工艺腔室的漏率，所述漏率检测装置包括：流量调节模块、压力检测模块和计算模块；所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。可选的，在所述的漏率检测装置中，所述流量调节模块包括一隔离阀和一节流阀，所述隔离阀用于在所述第一预设时间后呈打开状态以使所述工艺腔室排出所述气体，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，呈关闭状态以停止所述气体排出；所述节流阀用于控制所述工艺腔室排出气体的流量大小。可选的，在所述的漏率检测装置中，所述漏率检测装置还包括一控制模块，所述控制模块与所述流量调节模块连接；所述控制模块能够在所述第一预设时间后，向所述隔离阀提供第一开关信号，所述隔离阀根据所述第一开关信号呈打开状态；所述控制模块能够在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，向所述隔离阀提供第二开关信号，所述隔离阀根据所述第二开关信号呈关闭状态。可选的，在所述的漏率检测装置中，所述控制模块还与所述压力检测模块连接，所述控制模块能够控制所述力压检测模块检测所述工艺腔室内的压力，并能够根据所述工艺腔室内的压力，控制所述节流阀的阀门大小。可选的，在所述的漏率检测装置中，所述计算模块通过如下公式计算所述工艺腔室的漏率：(P2-P1)/t，其中，P2表示所述第二压力值，P1表示所述第一压力值，t表示所述第三预设时间。所述第一预设时间为200s～400s，所述第二预设时间为5s～10s,所述第三预设时间为150s～300s。可选的，在所述的漏率检测装置中，所述预设压力小于或者等于740Torr。基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种漏率检测方法，用于检测工艺腔室的漏率，所述漏率检测方法包括：在所述工艺腔室内通入气体；在所述工艺腔内通入所述气体的第一预设时间后，使所述工艺腔排出气体，并控制所述气体的流量大小，以控制所述工艺腔室内的压力；当所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；获取停止所述气体排出后的第二预设时间时，所述工艺腔室内的压力值，以得到第一压力值；获取停止所述气体排出后的第三预设时间时，所述工艺腔室内的压力值，以得到第二压力值；根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。基于同一专利技术构思，本专利技术还提供一种退火机台，所述退火机台包括本专利技术提供的所述漏率检测装置；所述退火机台还包括进气管路和排气管路，所述进气管路和所述排气管路分别与工艺腔室连通，所述压力检测模块和所述流量调节模块均设在所述排气管路上，所述气体通过所述进气管路进入所述工艺腔室，并通过所述排气管路排出。可选的，在所述的退火机台中，所述排气管路包括第一排气管路、第二排气管路和第三排气管路，所述第一排气管路和所述第二排气管路分别与所述工艺腔室连通，所述第三排气管与所述第一排气管路和所述第二排气管路连通，所述气体能够经所述第一排气管路和所述第二排气管路汇聚到所述第三排气管路后排出。在本专利技术提供的退火机台、漏率检测装置及检测方法中，所述漏率检测装置包括压力检测模块、流量调节模块和计算模块，所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后的第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。即通过所述流量调节模块控制所述工艺腔排出气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，进而使所述工艺腔压力达到预设压力(所述预设压力例如可以低于大气压的压力)，若所述工艺腔室存在泄漏，则所述工艺腔室外的空气会进入所述工艺腔室内，从而会引起所述工艺腔室内的压力变化，由此，可以通过所述第一压力值和所述第二压力值有效的得到所述工艺腔室内的漏率，从而提高所述工艺腔室内的漏率检测精度。附图说明图1是本专利技术实施例提供的漏率检测装置的框图；图2是本专利技术实施例提供的漏率检测方法的流程示意图；其中，附图标记说明如下：100-检测装置；101-工艺腔室；110-流量调节模块；111-隔离阀；112-节流阀；120-压力检测模块；130-计算模块；140-控制模块；150-进气管路；160-排气管路170-排气管路；171-第一排气管路；172-第二排气管路；173-第三排气管路。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的退火机台、漏率检测装置及检测方法作进一步详细说明。根据下面说明，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种漏率检测装置，用于检测工艺腔室的漏率，其特征在于，所述漏率检测装置包括：流量调节模块、压力检测模块和计算模块；/n所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；/n所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后的第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；/n所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。/n

【技术特征摘要】
1.一种漏率检测装置，用于检测工艺腔室的漏率，其特征在于，所述漏率检测装置包括：流量调节模块、压力检测模块和计算模块；
所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；
所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后的第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；
所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。


2.如权利要求1所述的漏率检测装置，其特征在于，所述流量调节模块包括一隔离阀和一节流阀，所述隔离阀在所述第一预设时间后呈打开状态以使所述工艺腔室排出气体，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，呈关闭状态以停止所述气体排出；所述节流阀用于控制所述工艺腔室排出气体的流量大小。


3.如权利要求2所述的漏率检测装置，其特征在于，所述漏率检测装置还包括一控制模块，所述控制模块与所述流量调节模块连接；所述控制模块能够在所述第一预设时间后，向所述隔离阀提供第一开关信号，所述隔离阀根据所述第一开关信号呈打开状态；
所述控制模块能够在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，向所述隔离阀提供第二开关信号，所述隔离阀根据所述第二开关信号呈关闭状态。


4.如权利要求3所述的漏率检测装置，其特征在于，所述控制模块还与所述压力检测模块连接，所述控制模块能够控制所述力压检测模块检测所述工艺腔室内的压力，并能够根据所述工艺腔室内的压力，控制所述节流阀的阀门大小。


5.如权利要求1所述的漏率检测装置，其特征在于，所述计算模块通过如下公式...

【专利技术属性】
技术研发人员：惠洋，顾海龙，何春雷，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31