【技术实现步骤摘要】
退火机台、漏率检测装置及检测方法
本专利技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种漏率检测装置、检测方法及退火机台。
技术介绍
目前，退火机台通常需要检测其工艺腔室的漏率，以衡量工艺腔室的密封性。现有的技术通常采用氧气检测装置检测工艺腔室的漏率，其氧气检测装置一般设置在工艺腔室的排气管路上，通常情况下，采用氧气检测装置检测工艺腔室漏率的方法包括，工艺腔室内通入氮气，并在工艺腔室内的氧气浓度为零或者接近零时，通过排气管路将工艺腔室内的气体排出到氧气检测装置的探针，通过探针检测工艺腔室内的氧气浓度，并根据氧气浓度得到工艺腔室的漏率。但通过上述装置和方法检测腔室的漏率时，工艺腔室内通常包括多个零部件，其零部件具有多个死角，在死角中会存在氧气残留，而残留的氧气会影响探针对工艺腔室内的氧气浓度的测量，从而导致测量结果不准。并且，氧气检测装置通常采用电化学方式计算氧气的浓度，即通过电极吸附氧离子引起电位差变化计算氧气浓度。其在检测完成后需要通过氮气清洗电极以清洗电极中的氧离子，因此会造成电极的氧化和清洗不不彻底的问题，从而影响其电化学...
【技术保护点】
1.一种漏率检测装置，用于检测工艺腔室的漏率，其特征在于，所述漏率检测装置包括：流量调节模块、压力检测模块和计算模块；/n所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；/n所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后的第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；/n所述计算模块用于根据所述第一压力...
【技术特征摘要】
1.一种漏率检测装置，用于检测工艺腔室的漏率，其特征在于，所述漏率检测装置包括：流量调节模块、压力检测模块和计算模块；
所述流量调节模块用于在所述工艺腔室在第一预设时间后排出气体时，控制所述气体的流量大小，从而控制所述工艺腔室内的压力，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，停止所述气体排出，从而封闭所述工艺腔室；
所述压力检测模块用于检测所述工艺腔室内的压力，所述压力检测模块在停止所述气体排出后的第二预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第一压力值，以及在停止所述气体排出后的第三预设时间，检测所述工艺腔室内的压力并得到第二压力值；
所述计算模块用于根据所述第一压力值和所述第二压力值计算所述工艺腔室的漏率。
2.如权利要求1所述的漏率检测装置，其特征在于，所述流量调节模块包括一隔离阀和一节流阀，所述隔离阀在所述第一预设时间后呈打开状态以使所述工艺腔室排出气体，并在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，呈关闭状态以停止所述气体排出；所述节流阀用于控制所述工艺腔室排出气体的流量大小。
3.如权利要求2所述的漏率检测装置，其特征在于，所述漏率检测装置还包括一控制模块，所述控制模块与所述流量调节模块连接；所述控制模块能够在所述第一预设时间后，向所述隔离阀提供第一开关信号，所述隔离阀根据所述第一开关信号呈打开状态；
所述控制模块能够在所述工艺腔室内的压力达到预设压力时，向所述隔离阀提供第二开关信号，所述隔离阀根据所述第二开关信号呈关闭状态。
4.如权利要求3所述的漏率检测装置，其特征在于，所述控制模块还与所述压力检测模块连接，所述控制模块能够控制所述力压检测模块检测所述工艺腔室内的压力，并能够根据所述工艺腔室内的压力，控制所述节流阀的阀门大小。
5.如权利要求1所述的漏率检测装置，其特征在于，所述计算模块通过如下公式...
【专利技术属性】
技术研发人员：惠洋，顾海龙，何春雷，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。