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本发明实施例提供了一种红外热堆传感器及其制作方法，包括：提供第一基板，所述第一基板包括第一区和第二区，所述第一基板具有相对的第一表面和第二表面；在所述第一区第一表面形成热电堆结构；在所述第二区第一表面形成热敏电阻结构；自所述第二表面刻蚀所述...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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