温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于外延反应腔室的衬里装置及外延反应腔室，装置包括：下部衬环以及置于下部衬环上方且与下部衬环同轴设置的上部衬环；下部衬环的朝向上部衬环的一面设置有的导气槽和排气槽，导气槽和排气槽沿下部衬环的周向相对设置，且导气槽的导气方向与...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。