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本发明公开了一种用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法，涉及射频微电子机械系统领域和天线领域。该信号发射元包括：MEMS谐振器和辐射层，辐射层包括磁致伸缩薄膜或驻极体薄膜，辐射层设置在MEMS谐振器的谐振区的一侧，与谐振区紧密耦合，谐振区...
该专利属于四川爆米微纳科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川爆米微纳科技有限公司授权不得商用。

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