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本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备,即真空微吸附台,它包括真空微吸附台座,真空微吸附台板,真空泵气嘴,微限位块;将真空微吸附台板压入真空微吸附台座,形成腔体,并用胶密封,真空微吸附台两侧有同轴的孔,实现了既能通光又能吸附的目地。...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本实用新型涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备,即真空微吸附台,它包括真空微吸附台座,真空微吸附台板,真空泵气嘴,微限位块;将真空微吸附台板压入真空微吸附台座,形成腔体,并用胶密封,真空微吸附台两侧有同轴的孔,实现了既能通光又能吸附的目地。...