一种滤波片检测用的真空微吸附台制造技术

本实用新型专利技术涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备，即真空微吸附台，它包括真空微吸附台座，真空微吸附台板，真空泵气嘴，微限位块；将真空微吸附台板压入真空微吸附台座，形成腔体，并用胶密封，真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了既能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座，微限位块用胶固定在真空微吸附台板上。本发明专利技术是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台，使待测件受微力吸附于载物台通光孔上，克服了其它力的影响，能快速定位，并且实现了透射光和反射光均能测量功能。利用简单的装置，获得高精度的测量结果，而且制作成本低廉，可以推广使用。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光通信领域波分复用滤波片检测设备，特别涉及滤波片检测用的真空微吸附台。
技术介绍
光通信领域中的波分复用滤波片，其成品是从大面积的镀膜基片上切割下成1×1×0.5mm，0.8×0.8×0.4mm，0.4×0.4×0.25mm等的小片，然后逐片检测筛选。常规检测装置如图一，由双尾自聚焦光纤射出的约直径0.2mm的光束通过待测件，由单尾自聚焦光纤接收测透射光，由待测件表面反射的光再经双尾自聚焦光纤接收，由其中的另一根光纤射出测反射光。测试前须将待测件快速准确放到位，加微限位块理论上可有定位作用，但由于物体之间的微力作用，使待测件不易靠紧微限位块，影响测量的准确性，要放置准确需较长时间，影响测量速度。
技术实现思路
本技术要解决的问题是将载物台做成一种特殊的真空微吸附台，使待测件受微力吸附于载物台通光孔上，克服了其它力的影响，能快速定位，并且用透射光和反射光均能测量。该真空微吸附台包括真空微吸附台座，真空微吸附台板，真空泵气嘴，微限位块；将真空微吸附台板压入真空微吸附台座，形成腔体，并用胶密封，真空微吸附台两侧有同轴的孔，实现了即能通光又能吸附的目地。气嘴带胶用螺纹连接到台座，微限本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤波片检测用的真空微吸附台，它包括真空泵和真空微吸附台，其特征在于该真空微吸附台包括真空泵气嘴（６）、真空微吸附台座（７），真空微吸附台板（８）、微限位块（９）和同轴通光孔（１０）；各部件之间连接关系：将真空微吸附台板（８）压入真空微吸附台座（７）形成腔体，并用胶密封；真空泵气嘴（６）带胶用螺纹连接到真空微吸附台座（７）上；微限位块（９）用胶固定在真空微吸附台板（８）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：甘至宏，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]