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本实用新型公开了一种监控基板弯曲的系统，包括光源，显微镜，控制系统，基板，所述基板放置在平台上，所述基板上方设有参考平面板，所述参考平面板为透明面板，所述光源设置在基板一侧，所述光源为可旋转方向光源，光源的射光方向朝向基板，所述基板的另一侧...
该专利属于海太半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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