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本实用新型涉及一种等离子体反应设备，设备包括工作台、反应仓、真空模组、送气模块、射频模组及驱动件。反应仓可转动地装配于工作台，且具有反应腔，可以在反应腔内放置需要处理的物料，例如粉体物料。真空模组对反应腔抽真空，在反应腔内形成真空环境；送气...
该专利属于湖南大学所有，仅供学习研究参考，未经过湖南大学授权不得商用。

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