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本实用新型提供一种清洗液流量控制系统及湿法工艺机台，所述清洗液流量控制系统用于控制湿法工艺机台清洗晶圆的清洗液流量，并包括电动阀和控制模组，所述电动阀设置在向所述湿法工艺机台的工艺腔提供清洗液的供液管道上，所述控制模组包括至少两路工作压力不...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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