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本发明实施例涉及半导体制造领域，公开了一种晶圆加热装置及光刻胶摇摆曲线的生成方法，所述晶圆加热装置包括用于加热晶圆的热板、设置在所述热板上且用于固定晶圆的承载结构，所述承载结构远离所述热板的一端端面与所述热板表面形成的夹角可调节、所述承载结...
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