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本发明提供一种观察窗组件及半导体加工设备，包括观察窗和底座，所述底座用于固定安装在腔室壁上；在所述底座中设置有容纳观察窗的空腔，并且在所述底座上，且位于所述空腔的两侧分别设置有用于显露所述观察窗的开口。本发明提供的观察窗组件，其可以简化拆装...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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