下载一种低输入电容IGBT的技术资料

文档序号:26042141

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本实用新型提供一种低输入电容的IGBT,它包括从下至上依次布置的背面P注入区和N‑区,在N‑区的两侧具有P阱区,在前述P阱区的内部均布置有N+源区,在两P阱区和中部N‑区交界位置的上表面均布置有栅氧区,在两栅氧区的中部布置场氧区,且前述场氧...
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