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本发明提供了一种抛光液施配器及抛光装置，该抛光液施配器用于将抛光液施配到抛光垫上。其包括位于抛光垫上方的支臂、固定在支臂上且用于输送抛光液的输液管。还包括与输液管连通以向抛光垫表面喷洒抛光液的喷头。喷头与支臂转动连接，喷头相对支臂的转动方向...该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。