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本发明提供一种抛光装置，应用于晶圆，抛光装置包括：上抛光盘、下抛光盘、限位盘和驱动机构；上抛光盘位于限位盘朝向第一方向的一侧，下抛光盘位于限位盘朝向第二方向的一侧，第一方向和第二方向为两个相反的方向；下抛光盘的旋转中心、限位盘的旋转中心和上...该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。