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本发明公开了一种用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件，包括主轴、主轴座、进给机构和前后倾斜机构；所述主轴可旋转地同轴配置于主轴座中；所述主轴座包括管状的主体部及其左右两侧平行向外延伸的翼板；所述进给机构包括沿竖直方向设置的滑轨和沿滑轨竖直移动的滑...
该专利属于清华大学;华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;华海清科股份有限公司授权不得商用。

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