温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种等离子体放电过程模拟方法及系统，涉及等离子体源技术领域。该方法包括：在主等离子体区中，利用双极扩散近似和漂移扩散近似计算双极电场；利用双极电场和电子能量方程计算当前射频周期的电子温度；在鞘层区中，利用电子温度、连续性方程和动量...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。