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本发明提供一种晶片传送装置及PVD机台，所述晶片传送装置包括基座、升降环及定位销组件，所述定位销组件具有第一轴线，所述基座与所述升降环沿所述第一轴线的方向间隔地设置；所述定位销组件包括定位销、固定件、螺栓、定位孔和工具孔，所述定位孔和所述工...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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