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本申请实施例提供了一种承载装置,用于外延反应腔室。该承载装置包括：基座，基座的上表面设有第一凹槽，且在第一凹槽的第一底面上设置有第二凹槽，第一凹槽的第一底面用于承载晶圆；第二凹槽用于与承载的晶圆的下表面形成释放腔；第二凹槽的第二底面还设置有...
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