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本实用新型提供一种石墨舟和化学气相沉积设备，包括沿第一方向间隔设置的多片舟片，且各舟片的用于接触被加工工件的第一面与第一方向相互垂直，多片舟片在第一方向上划分为内片组和位于该内片组两侧的两组外片组，其中，各外片组包括至少一片舟片，且为外片，...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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