下载检测电子元件阵列的方法和装置的技术资料

文档序号:2593117

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本发明提供了一种检测电子元件阵列的装置和方法,该装置包含有一扫描装置,其用于捕获每一单个元件的至少一个表面的图象,藉以检测所述的表面。该扫描装置可以是行扫描装置。...
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