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一种超微质量及超微载荷变化量检测装置，其特征在于包括机体（１），原子力显微镜检测装置（２７），弹性测微装置（２６），所述弹性测微装置（２６）通过螺杆（２）与机体（１）连接，弹性测微装置（２６）与机体（１）之间装有压缩弹簧（３）。...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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