超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法制造方法及图纸

一种超微质量及超微载荷变化量检测装置，其特征在于包括机体（１），原子力显微镜检测装置（２７），弹性测微装置（２６），所述弹性测微装置（２６）通过螺杆（２）与机体（１）连接，弹性测微装置（２６）与机体（１）之间装有压缩弹簧（３）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
，扫描探针显微技术(Scanning probe microscopy)为人们提供了超高精度分辨能力，被广泛地用于科学实验。扫描探针显微镜是基于探针对试样表面的检测，当探针充分尖、探针与试样表面间距充分小时，探针能够检测表面纳米甚至原子分子量级的几何尺度变化，能够检测原子间相互作用力以及其他微观物理量及相应变化。微机械加工制造技术的发展，也为扫描探针显微技术的应用提供更为便利的条件。但扫描探针显微镜通常只是利用探针针尖对局域点进行操作检测，这些点远远小于常规操作尺度，重复操作性和可控制性不好，与表面微观状态相关，实时操作困难，导致许多工程
应用不便，因而目前这种超微检测方法用于科学实验多于工程
3.
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术设计一种方法和装置，目的之一是使该装置一方面在原理上能够以扫描探针显微镜超微分辨能力进行微观量的探测，另一方面又适应于通常工程
中微观量的精密检测。检测的物理量经过处理容易适用于对过程的监控、计算、转换。本专利技术的另一个目的，是使常规小物体能够直接乘放于检测仪器上，适当调整参数该装置可以在一定量程上对不同大小的微载荷进行检测。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：傅惠南，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：