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一种多模式原子力探针扫描系统，属于纳米表面检测技术领域。为了能同时满足高分辨率和大范围检测的要求，本发明公开了一种多模式原子力探针扫描系统，包括光学测量单元、扫描探测单元和伺服控制单元三个部分，所述扫描探测单元包括承载样品的受伺服控制单元驱...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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