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处理液及处理方法技术
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文档序号:25895512
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根据一实施方式,提供一种处理液。处理液是用于对具有环状结构的卤硅烷类进行处理的处理液。处理液包含无机碱及有机碱中的至少一者,且为碱性。...
该专利属于株式会社东芝;国立大学法人东北大学所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝;国立大学法人东北大学授权不得商用。
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