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本文提供了用于处理缩小尺寸的基板的处理套件的实施例。在一些实施例中，处理套件包括具有袋部的基板载具，袋部被配置用于保持基板，其中袋部部分地延伸穿过基板载具的厚度；且其中袋部包含环形沟槽，环形沟槽设置在袋部的底板的周边处。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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