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此处所述的实施方式涉及具有多个孔穴形成于其中的基板吸盘设备。在吸盘设备的主体中形成所述孔穴。在一个实施方式中，在主体的吸盘表面中形成第一多个通口且延伸至主体的底部表面。在另一实施方式中，在多个孔穴的底部表面中形成第二多个通口且延伸穿过主体至...
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