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一种衬底处理工具包括：多个处理模块，其被配置为处理半导体衬底。所述多个处理模块中的每一个被布置在所述衬底处理工具内的不同位置处。真空传送模块(VTM)包括机械手，并且被配置为在与衬底处理工具内的所述不同位置相对应的多个不同位置之间移动，以使...
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