温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制备和研发制造设施的资本设备上使用的检修隧道，提供了一种用于处理衬底的系统，所述系统包括：被配置成往来于一个或多个处理模块输送晶片的晶片输送组件，所述晶片输送组件具有至少一个晶片输送模块，其中所述至少一个晶片输送模块的横向侧...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。