下载金属碳化物烧结体以及具备该金属碳化物烧结体的碳化硅半导体制造装置用耐热部件的技术资料

文档序号:25811002

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就熔点非常高的金属的碳化物烧结体来说,本申请提供就算是不进行热压、HIP等在高压下的烧结也能够制造的相对密度高并且机械强度优异的金属碳化物烧结体。本申请涉及一种金属碳化物烧结体,其是选自周期表第四族和第五族元素中的至少一种金属的碳化物烧结体...
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