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本发明在尺寸与液晶显示器基板的盒大致相同的测量单元（２）中设置有：喷雾产生部（８）和喷雾放出管（１０）、激光光源（１２）、高速照相机（１４），根据被激光照射的喷雾的运动来测量清洁空气的流向和速度的分布。并且，用颗粒传感器（１６）求得颗粒的大...
该专利属于村田机械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过村田机械株式会社授权不得商用。

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