测量单元及具备该测量单元的输送系统技术方案

本发明专利技术在尺寸与液晶显示器基板的盒大致相同的测量单元（２）中设置有：喷雾产生部（８）和喷雾放出管（１０）、激光光源（１２）、高速照相机（１４），根据被激光照射的喷雾的运动来测量清洁空气的流向和速度的分布。并且，用颗粒传感器（１６）求得颗粒的大小和数量，用加速度传感器（１８）测量单元（２）受到的振动。用堆装起重机将单元（２）搬入／搬出货架（２２），并测量在货架中保管状态下的清洁环境，测量输送中的振动。由此，能够自动地测量货架搁板中的清洁空气的流速分布或颗粒的大小和数量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及洁净室内的清洁环境的测量、或用输送装置输送过程中的物品振动的测量。
技术介绍
洁净室内具有想要测量清洁环境的程度——例如想要测量空气中的颗粒按其大小区分的密度或清洁空气的流速及其分布的要求。另外，在以下的说明中将清洁环境的程度简称为清洁环境，将测量清洁环境的程度称为清洁环境测量。在液晶显示器或等离子显示屏等的基板的自动仓库的情况下，有测量自动仓库的货架内的清洁环境的必要。于是由人工进行清洁环境的测量。但是，随着显示屏的大型化，自动仓库的每个搁板也大型化，如果没有组装脚手架的话，就不能测量。照这样，即使能够进行自动仓库的工作前的检查时，在开始工作后不使自动仓库停下就测量清洁环境也是困难的。清洁环境不仅限于自动仓库的货架，对堆装起重机或桥式吊车等输送装置的行进路线附近的暂存区、行进路线本身或载置有半导体盒(cassette)等的装载口等也需要测量。如果暂存区或搁板在高处的话，则人工测量清洁环境困难；人工一个个地测量洁净室内的清洁环境非常麻烦，而且很可能妨碍洁净室内的半导体加工等的作业。
技术实现思路
本专利技术的第1目的就是要使保管物品的空间内的清洁环境容易测量并能够输出。本专利技术的第2目的是要提供一种用于测量清洁环境的具体结构。本专利技术的第3目的是要使输送中的物品受到的振动能够简单地测量。本专利技术的第4目的是要使测量结果容易收集。本专利技术的第5目的是要简单地将测量对象转换成适合于测量的项目。本专利技术的测量单元，在设置有输送装置的洁净室内使用，上述输送装置包括可保持收纳物品的盒以及解除该保持的保持机构，通过在由上述保持机构保持着上述盒的状态下行进，将被收纳在上述盒中的上述物品进行输送，其特征在于，该测量单元具备清洁环境测量用传感器；通讯部，发送由上述清洁环境测量用传感器检测的检测结果；以及配置部件，配置有上述清洁环境测量用传感器以及上述通讯部，具有可由上述保持机构进行保持及解除该保持的结构。所述的测量单元，其特征在于，上述测量单元的尺寸与上述盒的尺寸相同或者大致相同。所述的测量单元，其特征在于，上述清洁环境测量用传感器包括用于测量周围空气中的颗粒的数量的颗粒传感器、以及用于测量周围空气的流速的传感器。本专利技术的测量单元，在设置有输送装置的洁净室内使用，上述输送装置包括可保持收纳物品的盒以及解除该保持的保持机构，通过在由上述保持机构保持着上述盒的状态下行进，将被收纳在上述盒中的上述物品进行输送，其特征在于，该测量单元具备配置部件，具有可由上述保持机构进行保持及解除该保持的结构；上述配置部件的振动检测用传感器，被配置在上述配置部件上；以及通讯部，被配置在上述配置部件上，发送由上述振动检测用传感器检测的检测结果。所述的测量单元，其特征在于，上述测量单元的尺寸与上述盒的尺寸相同或者大致相同。所述的测量单元，其特征在于，使上述通讯部向输送测量单元的输送装置发送上述检测结果。本专利技术的输送系统，其特征在于，具备输送装置，包括可保持收纳物品的盒以及解除该保持的保持机构，通过在由上述保持机构保持着上述盒的状态下在洁净室中行进，将被收纳在上述盒中的上述物品进行输送；搁板，设置在上述洁净室中，保管上述盒；以及测量单元，该测量单元包括配置部件，具有可由上述保持机构进行保持及解除该保持的结构；清洁环境测量用传感器，配置在上述配置部件上；上述配置部件的振动检测用传感器，被配置在上述配置部件上；以及通讯部，被配置在上述配置部件上，向上述输送装置发送由上述清洁环境测量用传感器以及上述振动检测用传感器检测的检测结果；该测量单元由上述输送装置输送，可由上述搁板保管；上述输送装置包括通讯单元，该通讯单元对应上述测量单元的输送还是保管，将指示测量对象的信号发送给上述测量单元。所述的输送系统，其特征在于，上述测量单元的尺寸与上述盒的尺寸相同或者大致相同。本专利技术的测量单元为具备通过由输送装置的物品支持部支持而自由输送的筐体、被搭载在该筐体上的清洁环境测量用传感器、以及用于将该传感器的输出向外部输出的输出机构。该测量单元优选上述清洁环境测量用传感器包括用于测量周围空气中的颗粒的数量、最好是每种大小的颗粒的数量的颗粒传感器、以及用于测量周围空气的流速的传感器。并且，本专利技术的测量单元为具备通过由输送装置的物品支持部支持而自由输送的筐体、被搭载在该筐体上的筐体的振动检测用传感器、以及用于将该传感器的输出向外部输出的输出机构。优选使上述输出机构向输送测量单元的输送装置发送上述输出。本专利技术的输送系统为具备测量单元和保管上述测量单元的搁板；所述测量单元具备通过由输送装置的物品支持部支持而自由输送的筐体、被搭载在该筐体上的清洁环境测量用传感器和筐体的振动检测用传感器、以及用于将上述各传感器的输出发送给输送装置的输出机构；设置了输送装置，该输送装置输送上述单元，并且具有用于根据输送还是保管向测量单元指示测量对象的机构。专利技术的效果通过本专利技术，能够用输送装置来输送测量单元，将测量单元保管到货架或暂存区等的搁板或装载口等中，能够测量其间的清洁环境。因此，只要是能够用输送装置输送单元、并且能够保管单元的位置，能够测量任意位置的清洁环境。而且能够由输出机构输出测量结果，能够容易地收集。因此能够使洁净室内的清洁环境的测量几乎自动完成，并且对洁净室内的本来的处理妨碍少。作为清洁环境的测量，如果用颗粒传感器计算空气中颗粒的数量、测量空气的流速，则根据空气的流速就可以知道是否提供了充分的清洁空气，根据颗粒数可以知道是否混入了污染空气。其中，如果求得按每种颗粒的大小区分的数的话，可以知道哪种程度大小的颗粒被包含到什么程度的密度。并且，本专利技术由于用输送装置输送测量单元，同时测量测量单元的筐体的振动，从输出单元输出，因此能够容易地测量输送路径上物品受到的振动。而且，本专利技术如果将传感器输出发送给输送装置的话，则与从测量单元直接发送给地面上的控制部等时相比能够更切实地发送测量结果。如果将传感器输出发送给输送装置，则与发送给地面控制部时相比能够使发送行程为最小的限度，能够减轻对周围的电波干扰，而且能够根据来自输送装置的要求从测量单元输出，因此能够使发送协议简单。并且，本专利技术的输送系统中，用测量单元测量保管物品的搁板的清洁环境并且测量输送中的振动，同时根据输送或者保管的状态从输送装置指示测量对象。因此能够几乎自动地测量洁净室内搁板的清洁环境，并且也能够几乎自动地测量输送路径上的振动。附图说明图1是实施例的测量单元和货架的主要部分的俯视图。图2是实施例的测量单元和货架的主要部分的侧视图。图3是实施例的测量单元和堆装起重机的升降台的主要部分的俯视图。图4是表示实施例的测量单元的传感器类和控制系统的方框图。图5是变形例的测量单元、桥式吊车及周围的装载口以及暂存区的主视图。具体实施例方式下面说明用于实施本专利技术的优选实施例。实施例图1～图5表示实施例及其变形。在图1～图4中，2为测量单元，尺寸与收纳液晶显示器基板或等离子显示屏基板的盒(cassette)相同。4为其框体，6为板，在框体4和板6以外的部分处，使得在测量单元2没有外壁的骨架状态下能让气流尽可能自由地通过测量单元2内部，可以使其为方筒状。测量单元2具有方向性，如果将清洁空气流入的一侧作为上游、将清洁空气流出的一侧作为下游的话，则在上游侧设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量单元，在设置有输送装置的洁净室内使用，上述输送装置包括可保持收纳物品的盒以及解除该保持的保持机构，通过在由上述保持机构保持着上述盒的状态下行进，将被收纳在上述盒中的上述物品进行输送，其特征在于，该测量单元具备：　　　　清洁环境测量用传感器：　　　　通讯部，发送由上述清洁环境测量用传感器检测的检测结果；以及　　　　配置部件，配置有上述清洁环境测量用传感器以及上述通讯部，具有可由上述保持机构进行保持及解除该保持的结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：松叶克己，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]