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本申请公开了一种吊装组件和吊装装置。该吊装组件用于吊装半导体工艺设备，包括安装套筒，轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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