吊装组件和吊装装置制造方法及图纸

本申请公开了一种吊装组件和吊装装置。该吊装组件用于吊装半导体工艺设备，包括安装套筒，轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移动，以及吊臂，包括两个间隔开的连接腿，所述转轴的第一端通过一连接件拆装式连接至所述吊臂的第一连接腿，所述吊臂的第二连接腿上开设有收纳孔，所述转轴的第二端能沿所述轴向插入或移出所述收纳孔。由于吊臂的体积和重量比现有技术的吊装工具显著减小，而且能够容易地与转轴拆装，从而方便了半导体工艺设备的吊装。

【技术实现步骤摘要】
吊装组件和吊装装置
本申请涉及半导体制造领域，特别涉及用于吊装半导体工艺设备的吊装组件和吊装装置。
技术介绍
通常，半导体工艺设备的体积较大，重量也较重，在安装、拆卸、维护设备时，需要经常将单独的吊装工具装在设备(或设备的部件，例如机台)上，然后在通过起重装置(例如，天车)将设备(或设备的部件)吊起来并移位。然而，吊装工具的安装、拆除通常费时费力，因此需要改进。
技术实现思路
本申请的第一方面提出了一种吊装组件，用于吊装半导体工艺设备，其特征在于，包括安装套筒，轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移动，以及吊臂，包括两个间隔开的连接腿，所述转轴的第一端通过一连接件拆装式连接至所述吊臂的第一连接腿，所述吊臂的第二连接腿上开设有收纳孔，所述转轴的第二端能沿所述轴向插入或移出所述收纳孔。在一个实施例中，在所述安装套筒的两端均设置有轴承，所述轴承处于所述安装套筒内部，所述转轴穿过所述轴承。在一个实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吊装组件，用于吊装半导体工艺设备，其特征在于，包括/n安装套筒，/n轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移动，以及/n吊臂，包括两个间隔开的连接腿，所述转轴的第一端通过一连接件拆装式连接至所述吊臂的第一连接腿，所述吊臂的第二连接腿上开设有收纳孔，所述转轴的第二端能沿所述轴向插入或移出所述收纳孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种吊装组件，用于吊装半导体工艺设备，其特征在于，包括
安装套筒，
轴向穿过所述安装套筒的转轴，所述转轴的中部处于所述安装套筒的内部，所述转轴的两端均处于所述安装套筒的外部，并且所述转轴能相对于所述安装套筒转动和沿所述轴向移动，以及
吊臂，包括两个间隔开的连接腿，所述转轴的第一端通过一连接件拆装式连接至所述吊臂的第一连接腿，所述吊臂的第二连接腿上开设有收纳孔，所述转轴的第二端能沿所述轴向插入或移出所述收纳孔。


2.根据权利要求1所述的吊装组件，其特征在于，在所述安装套筒的两端均设置有轴承，所述轴承处于所述安装套筒内部，所述转轴穿过所述轴承。


3.根据权利要求2所述的吊装组件，其特征在于，在所述安装套筒的两端均设置有轴承端盖，所述轴承端盖用于对所述轴承进行限位，所述转轴穿过所述轴承端盖。


4.根据权利要求1-3任一项所述的吊装组件，其特征在于，所述第一端处设置有贯穿孔，所述贯穿孔位处于所述安装套筒的外部；所述第一连接腿构造为包括夹持所述第一端的两个延伸部，每个所述延伸部上均设置有通孔；所述连接件包括锁紧销，所述锁紧销拆装式插入两个所述通孔和贯穿孔内。


5.根据权利要求3所述的吊装组件，其特征在于，所述吊装组件还包括弹性件，所述弹性件的一端顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓军，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11