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β-Ga*O*纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法技术
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文档序号:2578898
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一种β-Ga↓[2]O↓[3]纳米线及其气体传感器的制备和实现快速响应的气体传感方法。纳米线制备是:在硅衬底上沉积金膜;将镓颗粒放入舟中,衬底放在距舟适当处,加热、保温;加热炉内通氮气;炉冷却到室温后,产物在衬底上生成;传感器制备是:一定厚...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。
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