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一种具有温控模块的化学机械抛光装置，包括：抛光盘，用于使抛光垫与其一起旋转；承载头，其配置有保持环以接收晶圆并将晶圆加载于所述抛光垫；承载头驱动装置，包括电机、驱动轴、气动组件、外壳和控制单元；电机和气动组件配置于所述外壳内，驱动轴从所述外...
该专利属于华海清科(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科(北京)科技有限公司授权不得商用。

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