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一种环栅半导体器件及制作方法、电子设备技术
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文档序号:25760112
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本发明公开一种环栅半导体器件及其制作方法、电子设备,涉及半导体技术领域,通过在衬底与源漏区之间形成隔离层,以抑制源漏漏电,无须使用成本较高的绝缘体上硅衬底,降低了半导体器件的制作成本。环栅半导体器件包括:衬底;形成在衬底上的堆叠结构;堆叠结...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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