下载一种多晶圆划片方法及半导体结构的技术资料

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本发明提供一种多晶圆划片方法及半导体结构,该方法包括以下步骤:第一键合步骤:提供一载体及第一晶圆,将二者键合,减薄第一晶圆的背面,在第一晶圆的背面引出焊盘,形成第一切割道于第一晶圆中;第二键合步骤:提供正面设有焊盘的第二晶圆,将第二晶圆的正...
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