温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆抓取方法、装置及设备，在机械手臂的至少一个末端安装红外线感测器，机械用于抓取晶圆。而后，将红外线感测器从托盘的第一端移动至托盘的第二端，托盘中放置有晶圆，在红外线感测器在移动的过程中计算红外线感测器检测到晶圆的时间，当检测...
该专利属于泉芯集成电路制造(济南)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泉芯集成电路制造(济南)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。