下载一种大尺寸铁氧体基片及其抛光方法的技术资料

文档序号:25743811

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本发明公开了一种大尺寸铁氧体基片及其抛光方法,属于微波技术领域,包括以下步骤:(A)配置直径为的板状结晶氧化铝抛光液;(B)将步骤(A)得到的氧化铝抛光液配合压缩纤维抛光垫对待抛光铁氧体基片进行第一轮抛光,得到半成品;(C)配置球状结晶氧化...
该专利属于中国电子科技集团公司第九研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第九研究所授权不得商用。

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