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一种纳米微电极以及制作方法，其首先在铝片的一表面形成具有用于制作纳米电极的位点窗口的第一绝缘层，然后采用电化学方法在所述位点窗口处形成氧化铝纳米孔，接着在所述氧化铝纳米孔中填充导电材料以形成纳米电极，再通过Ｌｉｆｔ－ｏｆｆ方法或图形化腐蚀方...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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