【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种纳米微电极,其特征在于包括: 具有位点窗口的第一绝缘层,且自所述位点窗口延伸出一簇丝状结构的纳米电极; 在所述第一绝缘层的一表面形成有包含所述纳米电极的金属连接线和金属焊接位点的图形化金属层,所述图形化金属层与所述纳米电极分别形成于所述第一绝缘层的不同表面; 在所述图形化金属层上形成有包含焊点窗口的第二绝缘层,其中,所述焊点窗口处于所述金属焊接位点处以暴露出所述金属焊接位点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李刚,周洪波,孙晓娜,朱壮晖,姚源,赵建龙,
申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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