专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
东京毅力科创株式会社
>
基片固持设备和形状度量方法技术
>技术资料下载
下载基片固持设备和形状度量方法的技术资料
文档序号:25718327
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于不会使基片屈曲或弯曲地均匀地固持基片的设备和方法,由此使得能够获得该基片的准确形状测量值,例如晶片曲率、z高度值和其他表面特性。技术包括使用液体作为基片的支撑表面,由此提供均匀的支撑。所使用的液体具有与被支撑的基片相同的比重,使得该...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。