下载基片固持设备和形状度量方法的技术资料

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一种用于不会使基片屈曲或弯曲地均匀地固持基片的设备和方法,由此使得能够获得该基片的准确形状测量值,例如晶片曲率、z高度值和其他表面特性。技术包括使用液体作为基片的支撑表面,由此提供均匀的支撑。所使用的液体具有与被支撑的基片相同的比重,使得该...
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