下载用于修复衬底支撑件的系统、装置和方法的技术资料

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一种用于修复光刻工具中的衬底支撑件(60)的多个突出部(20)的顶部表面的被改良的处理工具(100)。所述被改良的处理工具包括修复表面,所述修复表面相对于所述突出部的被平滑的顶部表面是粗糙的,并且所述修复表面具有比所述突出部的所述顶部表面的...
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