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短小光波导芯片的测量方法技术
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文档序号:2571486
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一种短小光波导芯片的测量方法,是使用由激光器、输入透镜光纤、芯片、凸透镜、显示屏、输出透镜光纤和探测设备组成的设备进行的测量,包括:首先对经解理露出了波导端面的芯片用粘合剂粘在一段反光的材料上;在芯片的输入端采用输入透镜光纤引入光信号,芯片...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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