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文档序号:25713110

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实施方式使半导体装置的特性提高。实施方式的半导体装置具备:第1导电型的第1半导体层;第1导电型的第2半导体层,设置在第1半导体层之上;第2导电型的第3半导体层,设置在第2半导体层之上;第1导电型的第4半导体层,设置在第3半导体层之上;场板电...
该专利属于株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社授权不得商用。

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