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动态随机存取存储单元与其相关的工艺制造技术
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下载动态随机存取存储单元与其相关的工艺的技术资料
文档序号:25712950
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本发明公开了一种动态随机存取存储单元。所述动态随机存取存储单元包含一晶体管、一凹槽、一隔离层以及一电容。所述凹槽形成于一硅表面下。所述隔离层设置于所述凹槽内,其中所述隔离层包含一第一部分与一第二部分,所述第一部分覆盖所述凹槽的一第一侧壁且由...
该专利属于钰创科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过钰创科技股份有限公司授权不得商用。
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